היים> שאָווליסט
סיליקאָן דייאַקסייד, מער באַקאַנט ווי SiO₂, איז אַ שליסל מאַטעריאַל וואָס ווערט גענוצט אין שאַפֿן קליינע דעווייסעס. ביי סעמיקסלאַב, פּראָצעסירן מיר סיליקאָן וועיפער מיט דעטאַלירטע מוסטערן, ניצנדיק אַ טעכניק גערופן סיאָ2 טרוקן עטשינג ג. נו, ווי אזוי ארבעט די מעטאָדע?
SiO₂ טרוקענע עטשינג באציט זיך צו א פראצעס פון איינעטשינג סיליקאן דיאקסייד אויף סיליקאן וועיפער ניצנדיק ספעציפישע כעמיקאלן און פלאזמע. ענערגיע ווערט אויך צוגעגעבן צו פלאזמע, וואס איז א סארט גאז. דורך פלאזמע קענען מיר אראפנעמען די SiO₂ שיכט אן צו שאדן די אונטערליגענדע שיכטן.
אויב מיר דאַרפֿן סיאָ2 טרוקן עטשינג כּדי צו זײַן מער עפֿעקטיוו, דאַרפֿן מיר שטעלן עטלעכע זאַכן ווי גאַז־פֿלוס־ראַטע, דרוק און מאַכט. דורך אַדזשאַסטירן די סעטטינגס, קענען מיר קאָנטראָלירן ווי שנעל מיר קענען עטשען און ווי עפֿעקטיוו מיר קענען עטשען נאָר דעם Semixlab SiO₂. דאָס איז קריטיש, ווײַל מיר ווילן עטשען SiO₂ אָן אָנרירן אַנדערע מאַטעריאַלן אויף דער ווייפֿער.
עס זענען פֿאַראַן פֿאַרשידענע מיטלען צו דורכפֿירן Semixlab SiO₂ טרוקענע עטשינג. איינע פֿון די געוויינטלעכע מעטאָדן איז די רעאַקטיווע יאָן עטשינג (RIE), וואָס ניצט אַ געמיש פֿון גאַזן פֿאַר דער SiO₂ שיכט. פּלאַזמע עטשינג אין אן אנדער מעטאד, ווערט א טיפער רעאקטיווער יאן עטשינג (DRIE) פראצעס גענוצט צו צושטעלן טיפע עטשינגס אין די SiO₂ שיכט אין עטלעכע טריט.
א קאמפליקאציע אין SiO₂ טרוקענע עטשינג איז צו פארמיידן צו באזייטיגן עפעס אנדערש ווי סעמיקסלאב נאַסע עטשינג SiO₂. כדי דאָס צו פֿאַרקומען, קען מען ניצן אַ מאַסקע צו באַשיצן די אַנדערע מאַטעריאַלן קעגן עטשינג. נאָך אַן אויפֿגאַבע איז צו זיכער מאַכן אַז די עטשינג איז איינהייטלעך איבערן גאַנצן ווייפֿער. מיר קענען סאָלווען דעם פּראָבלעם דורך צופּאַסן אונדזער עקוויפּמענט און סעטטינגס.
די סעמיקסלאַב SiO2 טרוקענע עטשינג ווערט דורכגעפירט צו שאַפֿן וויכטיקע טיילן ווי טרענטשעס און פֿאַרבינדונגען אויף סיליקאָן סאַבסטראַטן. די שטיקלעך זענען וויכטיק פֿאַר דער פּראָדוקציע פֿון זאַכן ווי אינטעגרירטע קרייזן און סענסאָרן. מיר קענען מאַכן קאָמפּליצירטע מוסטערן זייער פּינקטלעך מיט סיאָ2 טרוקן עטשינג
EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
