SiC קריסטאַל וווּקס רוי מאַטעריאַל

SiC קריסטאַל וואוקס רוי מאַטעריאַל איז די לעצטע אַוואַנסירטע מאַטעריאַל דעוועלאָפּעד דורך סעמיקסלאַב. דער הויפּט קאָמפּאָנענט איז דער CVD SiC בלאָק. די קוואַליטעט פון SiC איין קריסטאַל וואָס וואַקסט דורך דעם רוי מאַטעריאַל איז ויסגעצייכנט און האט די פירנדיקע מדרגה אין דער אינדוסטריע.

פּראָדוקט קערן העל

סובווערסיווער צוגרייטונג פּראָצעס

ניצנדיק אומאפהענגיקע פאטענטירטע פלוידבעט CVD טעכנאָלאָגיע (פּאַטענט נומער: ZL2024XXXXXXX), מעטיל טריטשלאָראָסילאַן (MTS) ווי דער פאָרגייער, צו דערגרייכן:

ריינקייט > 99.9995% (GDMS גאַנץ עלעמענטאַל אַנאַליז)

ניטראָגען אינהאַלט ≤0.09ppm (קיין נאָך רייניקונג)

פּאַרטיקל גרייס 4-10 מם (טראַדיציאָנעלער זיך-פאַרשפּרייטנדיקער מעטאָד < 2.5 מם)

קריסטאַל וווּקס מייַלע

ענוויראָנמענטאַל שוץ און עקאנאמיע

נול פאַרפּעסטיקונג אָפּזאָגן: הידראָטשלאָריק זויער קען זיין נויטראַלייזד אין זאַלץ

קאָסטן רעדוקציע פון ​​30%: רוי מאַטעריאַל מעטילטריטשלאָראָסילאַן איז כינע'ס דאָמינאַנט כעמישער מאַטעריאַל

SiC קריסטאַלן געוואַקסן מיט SiC קריסטאַל וווּקס רוי מאַטעריאַל

שנעל דעטאַל:

1. אנדערע נעמען: CVD SiC בלאָק; SiC פראַגמענט.

2. אַפּליקאַציע: רוי מאַטעריאַל פֿאַר SiC איין קריסטאַל וווּקס.

3. קערן פּאַראַמעטערס: ריינקייט > 99.9995% (GDMS גאַנץ עלעמענטאַל אַנאַליז), ניטראָגען אינהאַלט ≤0.09ppm (קיין נאָך רייניקונג), פּאַרטיקל גרייס 4-10 מם (טראַדיציאָנעל זיך-פאַרשפּרייטן מעטאָד < 2.5 מם).

רוי מאַטעריאַל פֿאַר SiC איין קריסטאַל וווּקס.

1. א דורכברוך אין ריינקייט

ריינקייט ≥99.9995% (GDMS גאנצע עלעמענט אנאליז). ניטראָגען אינהאַלט ≤0.09 ppm איז דערגרייכט געוואָרן דורך כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (קיין צווייטיקע רייניקונג). ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר האַלב-איזאָלירנדיקע SiC איין קריסטאַל וווּקס באדערפענישן.

2. פּאַרטיקל גרייס און געדיכטקייט אָפּטימיזאַציע

גרויסע פּאַרטיקל גרייס (4-10 מם), פֿאַרבעסערן באַדייטנד די קרוקפּאָט לאָודינג קאַפּאַציטעט (מער ווי 1.5 קג פֿאַר דער זעלביקער באַנד), רעדוצירן טשאַד ענקאַפּסולאַטיאָן חסרונות בעשאַס קריסטאַל וווּקס.

3. דער קאָסטן מייַלע איז באַטייטיק

רעדוצירן רוי מאַטעריאַל קאָסטן מיט 30%.

ניצנדיק מעטילטריכלאָראָסילאַן (MTS) ווי דער פאָרגייער, איז די רוי מאַטעריאַל קויף קאָסטן בלויז 1/3 פון די טראַדיציאָנעלע הויך-ריינקייט סיליקאַ רויך + גראַפיט סכעמע. רוי מאַטעריאַל נוצן קורס > 50% (טראַדיציאָנעלער פּראָצעס בלויז 30%-40%).

4. ענווייראָנמענטאַל שוץ פארמאכט שלייף פּראָצעס

נול פאַרפּעסטיקונג ימישאַן.

הידראָכלאָרישע זויער, דער בייפּראָדוקט פון פּראָדוקציע, דזשענערירט ומשעדלעכע זאַלץ דורך נויטראַליזאַציע רעאַקציע, גאָר אויסמיידנדיק די דריי אָפּפאַל באַהאַנדלונג פּראָבלעמען פון טראַדיציאָנעלע פּראָצעסן (פּיקלינג/אָפּפאַל גאַז באַהאַנדלונג קאָסטן מאַכן אויס מער ווי 15%).

5. קריסטאַל קוואַליטעט שפּרינגען

די געדיכטקייט פון מיקראָטובולעס איז געווען < 300 קוביק סענטימעטער^-2.

די Si/C אטאם פארהעלטעניש פון רוי מאטעריאל איז נאנט צו 1:1 (טראדיציאנעלע מעטאד אפוויכונג > 5%), רעדוצירנדיג די סיליקאן סעגרעגאציע חסרונות בעת קריסטאל וואוקס. ינגאט אויסבייט פון 85%-92% (65%-75% פון קאנקורירנדע פראדוקטן), רעדוצירנדיג די איינציקע קריסטאל שנייד פארלוסט פון דאוןסטרים קאסטומערס.