הויך ריינקייט סינטערד סיק אויוון טובז

הויך-ריינקייט סינטערד סיליקאן קאַרבייד (SiC) אויוון רערן זענען קריטישע קאָמפּאָנענטן אין אַוואַנסירטער האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע. באַקאַנט פֿאַר זייער אויסערגעוויינלעכע טערמישע פעסטקייט, כעמישע אינערטקייט, און נידעריקע אומריינקייט אינהאַלט, די רערן צושטעלן אַ קאַנטאַמאַניישאַן-פֿרייַ סביבה פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז אַזאַ ווי עפּיטאַקסיאַל וווּקס, טערמישע אַקסאַדיישאַן, און דיפיוזשאַן דאָפּינג. דורך מינאַמייזירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן און מעטאַל יאָן קאַנטאַמאַניישאַן, סינטערד SiC אויוון רערן ענשור וועיפער אָרנטלעכקייט, מיטל פאָרשטעלונג, און הויך פאַבריקאַציע ייעלד.

אַפּליקאַציעס אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן

1. עפּיטאַקסיאַל גראָוט

ראָלע: סינטערד SiC אויוון רערן צושטעלן אַ סטאַביל הייס-זאָנע סוויווע פֿאַר סיליקאָן עפּיטאַקסי און אויסגעקליבענע SiC עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז.

טשאַלאַנדזשיז אין עפּיטאַקסי:

● טעמפּעראַטור נישט-איינהייטלעכקייט וואָס פירט צו אומגלייכע שיכט גרעב.

●פּאַרטיקל קאָנטאַמינאַציע וואָס פאַרגרעסערט דעפעקט געדיכטקייט אין עפּיטאַקסיאַל פילמען.

●קאָראָזיע פֿון כלאָרירטע אָדער האַלאָגענירטע פּראָצעס גאַזן.

לייזונגען מיט סעמיקסלאַב SiC טובז:

● הויכע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי גאַראַנטירט מונדיר היץ פאַרשפּרייטונג.

●דיכט סינטערד סטרוקטור מינימיזירט פּאַרטיקל מעלדונג.

● אויסגעצייכנטע קעראָוזשאַן קעגנשטעל פאַרלענגערט דינסט לעבן אונטער אַגרעסיוו כעמיעס.

2. טערמישער אקסידאציע פראצעס

ראלע: אין אקסידאציע אויוון, דינען סינטערירטע SiC רערן ווי די רעאקציע קאמער, וואו סיליקאן וועיפערס ווערן אויסגעשטעלט צו זויערשטאָף אדער פארע, כדי צו פארמירן איינהייטלעכע SiO2 שיכטן.

שוועריקייטן אין אקסידאציע:

●קוואַרץ רערן קענען דעפאָרמירן אָדער אַרײַנפֿירן מעטאַלישע פֿאַרפּעסטיקונגען איבער לאַנגע ציקלען.

● אומגלייכע טערמישע גראַדיענטן ווירקן אויף די אָקסייד גרעב איינהייטלעכקייט.

● הויך-טעמפּעראַטור נעץ קען פאַרגיכערן מאַטעריאַל דעגראַדאַציע.

לייזונגען מיט סעמיקסלאַב SiC טובז:

● העכערע טערמישע קלאַפּ קעגנשטעל פאַרהיט רער קראַקינג בעשאַס ריפּיטיד הייצונג און קילן.

● הויך ריינקייט SiC קאמפאזיציע מינימיזירט קאנטאמינאציע און האלט אן די אקסייד קוואליטעט.

● לאַנג סערוויס לעבן ראַדוסאַז דאַונטיים און פאַרבייַט קאָסטן.

3. דיפיוזשאַן דאָפּינג

ראלע: געסינטערטע SiC רערן דינען ווי דיפוזיע אויוון קאמערן פארן אריינפירן דאפאנטן (B, P, As) אין סיליקאן וועיפערס.

טשאַלאַנדזשעס אין דיפיוזשאַן:

●אינטעראַקציע צווישן דאָפּאַנט גאַזן (POCls, BBr3, PHs) און רער ווענט, וואָס פאַראורזאַכט קאָנטאַמינאַציע.

● פּאַרטיקל אַקיומיאַליישאַן וואָס פירט צו דזשאַנקשאַן ליקאַדזש און ייעלד אָנווער.

● סטרוקטורעלע דעפארמאציע בעת פארלענגערטע הויך-טעמפּעראַטור באַניץ.

לייזונגען מיט סעמיקסלאַב SiC טובז:

● כעמיש אינערטע ייבערפלאַך קעגנשטעלט זיך רעאַקציע מיט דאָפּאַנט גאַזן.

● געדיכטע מיקראָסטרוקטור רעדוצירט פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.

● סטאַבילע פאָרשטעלונג אונטער 800-1,200°C פּראַסעסינג ציקלען ינשורז קאָנסיסטענט דאָפּאַנט פּראָופיילז.

ביי סעמיקסלאַב, פאָרשלאָגן מיר אַ פולשטענדיקע לייזונג געבויט אויף דריי הויפּט זיילן:

● קאַסטאַמייזיישאַן און פּרעציזיע אינזשעניריע: מיר פֿאַרשטייען אַז יעדער פּראָצעס איז אײַנציקאַרטיק. אונדזער אינזשעניריע מאַנשאַפֿט אַרבעט גלייך מיט אײַך צו דיזײַנען און פּראָדוצירן מנהג-געמאַכטע SiC אויוון רערן וואָס פּאַסן פּונקט צו אײַערע פּראָצעס רעקווירמענץ און ויסריכט ספּעציפֿיקאַציעס. מיר קענען אָפּטימיזירן דימענסיעס, וואַנט גרעב און ייבערפֿלאַך ענדיקונגען צו מאַקסאַמיזירן פאָרשטעלונג און פֿאַרלענגערן די לעבן פֿון די רערן.

●עקספּערט טעכנישע קאָנסולטאַציע: אונדזער מאַנשאַפֿט פֿון דערפֿאַרענע האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן וויסנשאַפֿטלער איז פֿאַראַן צו צושטעלן טיפֿע טעכנישע שטיצע. צי איר לייזט אַ פּראָבלעם מיט פּראָדוקציע אָדער איר אַנטוויקלט אַ נײַעם הויך-טעמפּעראַטור פּראָצעס, מיר קענען אָנבאָטן עקספּערט עצה וועגן ווי אַזוי צו אינטעגרירן אונדזערע SiC קאָמפּאָנענטן פֿאַר אָפּטימאַלע רעזולטאַטן.

● שטרענגע קוואַליטעט פארזיכערונג איידער שיפּמענט: מיר באַשטעטיקן יעדן רער'ס דימענסיאָנעלע אַקיעראַסי, ייבערפלאַך ענדיקן, און ריינקייט ניצן אַוואַנסירטע מעטראָלאָגיע און עלעמענטאַל אַנאַליז טעקניקס. דעם שטרענגן QA פּראָצעס גאַראַנטירט אַז יעדער Semixlab פּראָדוקט וואָס איר באַקומען איז גרייט פֿאַר הויך-וואָלומען מאַנופאַקטורינג גלייך פֿון דער קעסטל.

פֿאַרבעסערן אייערע האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן מיט סעמיקסלאַב'ס הויך-ריינקייט סינטערד SiC אויוון רערן - אינזשענירט צו צושטעלן אויסערגעוויינלעכע טערמישע פעסטקייט, כעמישע אינערטקייט, און קאַנטאַמאַניישאַן-פֿרייע פאָרשטעלונג פֿאַר עפּיטאַקסי, אַקסאַדיישאַן, און דיפוזיע אַפּלאַקיישאַנז. צי איר דאַרפֿן מנהג דימענסיעס, הויך-ריינקייט ספּעסיפיקאַציעס, אָדער עקספּערט פּראָצעס קאָנסולטאַציע, סעמיקסלאַב ינשורז אַז אייערע וועיפערס דערגרייכן אָפּטימאַל ייעלד און מיטל רילייאַבילאַטי. קאָנטאַקט אונדזער טעכניש מאַנשאַפֿט צו טרעפן אייערע האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג באדערפענישן.