סיליקאָן קאַרבייד דיפיוזשאַן אויוון רער

אין האַלב-קאָנדוקטאָר דיפיוזשאַן אויוון, דינט די אויוון רער ווי די ערשטיקע רעאַקציע קאַמער, וואו וועיפערס ווערן אויסגעשטעלט צו קאָנטראָלירטע טערמישע באדינגונגען און פּראָצעס גאַזן. די קוואַליטעט און פעסטקייט פון די אויוון רער האָבן אַ דירעקטן השפּעה אויף טעמפּעראַטור איינהייטלעכקייט, גאַז פאַרשפּרייטונג, קאָנטאַמינאַציע קאָנטראָל, און אַלגעמיינע פּראָצעס ריפּיטאַביליטי. מיט זיינע העכערע מאַטעריאַל אייגנשאַפטן, העלפט אַ SiC דיפיוזשאַן אויוון רער האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן אויפהאַלטן פאַרלאָזלעכע אַקסאַדיישאַן און דיפיוזשאַן פּראָצעסן בשעת זיי פֿאַרבעסערן די לעבן פון ויסריכט און רעדוצירן וישאַלט רעקווייערמענץ.

וואָס איז אַ סיליקאָן קאַרבייד דיפיוזשאַן אויוון רער?

א סיליקאן קאַרבייד דיפיוזשאַן אויוון רער איז אַ הויך-טעמפּעראַטור פּראָצעס רער פאַבריצירט פון סיליקאן קאַרבייד קעראַמיק און געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר דיפיוזשאַן אויוון סיסטעמען. עס שאַפט אַ קאָנטראָלירטע סביבה פֿאַר וועיפער פּראַסעסינג, וואָס אַלאַוז פּינקטלעכע טערמישע באַהאַנדלונג אונטער פֿאַרשידענע פּראָצעס אַטמאָספערעס, אַרייַנגערעכנט זויערשטאָף, ניטראָגען, הידראָגען, פארע, און דאָפּאַנט-האַלטיקע גאַזן.

קאַמפּערד מיט קאַנווענשאַנאַל קוואַרץ אויוון רערן, SiC אויוון רערן פאָרשלאָגן פֿאַרבעסערטע פאָרשטעלונג אונטער עקסטרעמע טערמישע באדינגונגען רעכט צו זייער:

● הויכע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי

● אויסגעצייכנטע טעמפּעראַטור סטאַביליטעט

● העכערע מעכאנישע שטאַרקייט

● אויסגעצייכנטע אָקסידאַציע קעגנשטעל

● נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט

● הויך קעגנשטעל צו כעמישער קעראָוזשאַן

די אייגנשאפטן מאכן סיליקאן קארבייד אן אידעאלן מאטעריאל פאר האלב-קאנדוקטאר טערמישע פראצעסירונג עקוויפמענט, וואו לאנג-טערמין פארלעסלעכקייט און פראצעס קאנסיסטענסי זענען וויכטיג.

סיליקאָן קאַרבייד דיפיוזשאַן אויוון טובז זענען וויידלי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראַסעסאַז, אַרייַנגערעכנט:

● טערמישע אָקסידאַציע

● דאָפּאַנט דיפיוזשאַן

● הויך-טעמפּעראַטור אַנילינג

● ניטרידאַציע

● מאַכט האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע

● SiC און GaN דעווייס פּראַסעסינג

זייער פיייקייט צו האַלטן סטאַבילע טערמישע און כעמישע באדינגונגען מאכט זיי אַן אומפאַרלאָזלעכער קאָמפּאָנענט אין אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר טערמישע פּראַסעסינג עקוויפּמענט.