פּראָדוקטן

הויך ריינקייט SiC וואַפער שיפל

אין קערן פּראָצעסן פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע—אַזאַ ווי אָקסידאַציע, דיפוזיע, און LPCVD—די סטרוקטורעלע שטאַרקייט און מאַטעריאַל ריינקייט פון וועיפער טרעגערס באַשטימען גלייך די ייעלד ראַטעס. די סיליקאָן קאַרבייד (SiC) שיף דעוועלאָפּעד דורך סעמיקסלאַב, געשטיצט דורך די צוויי אַדוואַנטידזשיז פון אַ הויך-שטאַרקייט, אַטמאָספעריש-דרוק סינטערד סיליקאָן קאַרבייד (S-SiC) סאַבסטראַט און אַ דיקע CVD SiC קאָוטינג, האט גאָר סאַלווד די פּראָבלעם פון פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן אין טראַדיציאָנעלע פּראָצעסן. אפילו אין עקסטרעם ינווייראַנמאַנץ דערגרייכן אַרויף צו 1600°C, דאָס שיף האַלט ויסגעצייכנט גשמיות פעסטקייַט, מיט געווער און דינסט לעבן באַטייטיק העכער ווי יענע פון קוואַרץ אָדער גראַפיט טרעגערס, מאכן עס די ידעאַל ברירה פֿאַר הויך-פאַרלאָזלעך פאַבריקאַציע פּראָצעסן. מיר קוקן פאָרויס צו דיין ווייַטער אָנפרעג.

INQUIRY

באַשרייַבונג

SiC וואַפער שיפל אַרבעט דיאַגראַמע

אָפּטימיזירטע טערמישע פעלד לייזונגען פֿאַר 4-12 אינטש פאַבריקאַציע

פארוואס גייען פירנדע פאבריקן איבער פון קוואַרץ צו SiC שיפן?

העכער ווי קוואַרץ, וואָס אומוויכטלעך פאַלט ביי 1150°C צוליב דעוויטריפיקאַציע, האַלטן אונדזערע SiC שיפן אַבסאָלוטע געאָמעטרישע פּינקטלעכקייט אונטער עקסטרעמע טערמישע דרוק. דאַנק איר הויכער געדיכטקייט, שטעלט די CVD SiC מאַטריץ אָפּ די פּאַרטיקל אָפּשעפּונג אין אירע שפּורן. עס איז געבויט ספּעציעל צו שעפּן די 'נול-עקסקורסיע' פאָדערונגען פון היינטיקע סוב-מיקראָן פאַבריקאַציע פּראָצעסן.

אונדזערע קאָמפּאָנענטן האַנדלען מיט אַגרעסיווע HF/HNO3 רייניקונג פיל בעסער ווי קוואַרץ, האַלטן לענגער און רעדוצירן פאַרבייַט קאָסטן. מיט אָפּטימיזירטער טערמישער פאַרוואַלטונג פֿאַר שנעל, גלייכע באַהיצונג, צושטעלן זיי די פּראָצעס פעסטקייט וואָס איז דארף פֿאַר 4-אינטש ביז 12-אינטש וועיפערס אין הויך-וואָלומען פּראָדוקציע.

עקספּערט ינסייץ

אנדערש ווי טראדיציאנעלע גראַפיט שיפן וואָס ליגן שטאַרק אויף ייבערפלאַך-לעוועל קאָוטינגז, סעמיקסלאַב'ס מאָנאָליטישע SiC-אויף-SiC אַרכיטעקטור עלימינירט די סטרוקטורעלע "מיסמאַטש" צווישן סאַבסטראַט און הויט. דורך פאַראייניקן די יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנץ אַריבער די גאנצע אַפּאַראַט, האָבן מיר סאַלווד די כראָנישע אינדוסטריע קאָפּווייטיק פון דעלאַמיניישאַן. פֿאַר 8-אינטש און 12-אינטש הויך-וואָלומען פאַבריקן, דאָס איז נישט נאָר אַ מאַטעריאַל אַפּגרעיד - עס איז אַ TCO רעוואָלוציע. מיט אַ סערוויס לעבן 5x יקסידינג נאָרמאַל קוואַרץ, אונדזער סאָליד SiC שיפן טראַנספאָרמירן אַ קאָנסומאַבלע קאָסטן אין אַ לאַנג-טערמין פּראָדוקציע אַסעט.

פּאַראַמעטערס

טעכנישע ספּעקס און קאַסטאַמייזיישאַן

מיר קענען אַלץ צופּאַסן צו אייער ספּעציפֿישן אויוון סעטאַפּ - צי האָריזאָנטאַל אָדער ווערטיקאַל - און צופּאַסן צו אייערע גענויע וועיפער האַנדלינג באַדערפענישן.

שטריך	באַשרייַבונג
סאַבסטרייט מאַטעריאַל	סינטערד סיליקאָן קאַרבייד (S-SiC)
ייבערפלאַך טרעאַטמענט	CVD SiC קאָוטינג (כעמישע פארע דעפּאַזישאַן)
קאָוטינג גרעב	50μm – 300μm (פולשטענדיג קאַסטאַמייזאַבאַל)
ריינקייַט מדרגה	7N (גאַנץ אומריינקייטן < 0.1 ppm)
וואַפער קאָמפּאַטאַביליטי	4 אינטש, 6 אינטש, 8 אינטש, 12 אינטש
טערמאַל סטאַביליטי	סטאַביל ביז 1600°C אין וואַקוום/ינערט אַטמאָספער
אַפּפּליקאַטיאָנס	אָקסידאַציע, דיפוזיע, LPCVD, אַנילינג, RTP

אַפּפּליקאַטיאָנס

טיפּיש אַפּפּליקאַטיאָנס

אונדזערע SiC שיפן זענען געבויט פאר די שווערסטע פאַבריק באדינגונגען. זיי האַלטן זייער פאָרעם פּערפעקט בעת Si/SiC עפּיטאַקסי טראָץ H2 עטשינג, און זייער הויך ריינקייט איז אַ לעבנס-ראַטעווענדיקע פֿאַר דיפוזיע פּראָצעסן וואו קאָנטאַמינאַציע איז אַ ריזיקע. פֿאַר ALD און LPCVD, דינען זיי ווי אַ סטאַבילע טערמישע מאַסע צו ענשור אַז דער פילם דעפּאָזיטירט גלייך איבער אַלע וועיפערס.

קאַמפּעטיטיוו אַדוואַנטידזש

סכעמאַטיש פון CVD פּראָצעס פֿאַר SiC קאָוטינג שיפל

סכעמאטיש פון CVD פּראָצעס פֿאַר SiC שיפל קאָוטינג, וואָס זיכערט 7N ריינקייט און מונדיר געדיכטקייט

1) 7N אולטרא-הויך ריינקייט (CVD ענקאַפּסולאַציע) אַנשטאָט אַ באַזישע קאָוטינג, נוצן מיר אַ הויך-דענסיטי CVD SiC ענקאַפּסולאַציע צו פֿאַרשליסן אַ גלאָבאַלע ריינקייט פֿון 99.99999%. פֿאַר הויך-וואָולטידזש מאַכט דעוויסעס ווי IGBTs און MOSFETs, דאָס איז נישט אָפּציאָנאַל - דאָס איז דער איינציקער וועג צו שטאַרק אָפּשטעלן מעטאַלישע פֿאַרפּעסטיקונגען (Fe, Ni, Cu) פֿון טריגערן קאַטאַסטראָפֿישע ליקאַדזש קעראַנץ.

2) פּרעציזיע-אינזשענירטע שפּאַלט געאָמעטריע מיר טאָן נישט "איין גרייס פּאַסט אַלעמען." צי איר דאַרפֿן אַ נאָרמאַל V-גרוב אָדער אַ ספּעשאַלייזד U-שפּאַלט פֿאַר שוואַך, דין-וועיפער האַנדלינג, אונדזער CNC צענטערס האַלטן טאָלעראַנסעס צו אַ שטרענג ±0.05 מם. די עקסטרעמע פּרעציזיע טייט וועיפער ראַטלינג ביי דער מקור און מיטיגייץ ברעג-דרוק בעשאַס הויך-גיכקייַט ראָבאָטישע טראַנספערס.

3) אָפּטימיזירטער דוטי ציקל און CTE מעטשינג דער גרעסטער דורכפאַל פונקט אין קאָוטאַד שיפן איז דעלאַמינאַציע. מיר האָבן דאָס געלייזט דורך טונינג די קאָוטינג ס באַנדינג שטאַרקייט צו פּערפעקט שפּיגלען די סאַבסטראַט ס קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן (CTE). דער רעזולטאַט? אַ שיף וואָס סערווייווז אומדערמידלעך טערמאַל סייקלינג אין אַקסאַדיישאַן און דיפיוזשאַן אויוון אָן די קאָוטינג שאָלעכץ אָדער שאָלעכץ אַוועק פון די באַזע מאַטעריאַל.