EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
האַלב-קאָנדוקטאָר-גראַד קוואַרץ וואַפער שיפל און טרעגער
די סעמיקסלאַב הויך-ריינקייט קוואַרץ וועיפער באָוט – אויך באַקאַנט ווי אַ קוואַרץ וועיפער טרעגער אָדער קאַסעטע – איז אַ טערמיש-פעלד קאָמפּאָנענט וואָס ווערט ברייט גענוצט אין הויך-טעמפּעראַטור האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג. עס איז געמאַכט פון גאָר הויך-ריינקייט פאַרשמאָלצן סיליקאַ (SiO₂ ≥ 99.999%) און דינט ווי אַ סטרוקטורעלער טרעגער פֿאַר סיליקאָן, SiC, און GaN וועיפער אין טערמישע דיפוזיע, אָקסידאַציע, אַנילינג, LPCVD, און PECVD טריט.
באַשרייַבונג
פּראָדוקט איבערבליק
פּראָדוצירט אונטער שטרענגער קוואַליטעט קאָנטראָל, סעמיקסלאַב קוואַרץ שיפן האַלטן גאַנץ מעטאַלישע פֿאַרפּעסטיקונג לעוועלס אונטער 15 ppm (וואַלידירט דורך GDMS אָדער ICP-OES) און פאָרשלאָגן אַ נידעריק-הידראָקסיל אָפּציע ביי < 5 ppm. די פּראָדוקטן ווייַזן שטאַרק קעגנשטעל צו סאַגינג, דעפאָרמאַציע און מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן בעשאַס פאָדערן הויך-טעמפּעראַטור אויוון אַפּעריישאַנז.
בנימצא קאַסטאַמייזיישאַן
סעמיקסלאַב שטיצט קאַסטאַמייזד קוואַרץ וועיפער שיפן – אַרייַנגערעכנט לייטער שיפן, האָריזאָנטאַלע פּלאַטע שיפן, שאָל שיפן, און באַטש טרעגער – געבויט לויט קונה צייכענונגען, CAD טעקעס, און ויסריכט ספּעסיפיקאַציעס.
פּאַראַמעטערס
שליסל ספּעסיפיקאַציעס און טעכנישע פאָרשטעלונג
| פאַרמאָג | סעמיקסלאַב ווערט | נוץ |
| כעמישער ריינקייַט | SiO₂ ≥ 99.999%; פע, קו, לי, נאַ, ק <15 פּיפּיעם | מינימיזירט מעטאַלישע קאַנטאַמאַניישאַן |
| הידראָקסיל אינהאַלט | נידעריק-OH גראַד < 5 ppm; סטאַנדאַרט < 30 ppm | פֿאַרבעסערט הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייט |
| ארבעטן טעמפּעראַטורע | 1200°C קאָנטינויִערלעך / 1300°C שפּיץ | האַלט פעסטקייט בעת אויוון ציקלען |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן | 0.45 × 10⁻⁶ / °C | ויסגעצייכנט טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל |
| שפּאַלט פּיטש אַקיעראַסי | ± קסנומקס מם | פאַרלאָזלעכע ראָבאָטישע וואַפער האַנדלינג |
| ייבערפלאַך ענדיקן | פלאַם געגליט / מיקראָ-פּאָלירט (Rz < 0.8 μm) | רעדוצירט פּאַרטיקלען און מיקראָ-ריסן |
אַפּפּליקאַטיאָנס
פּראָצעס אַפּפּליקאַטיאָנס
· טערמישע אַקסאַדיישאַן און אַנילינג אויוון
· באָר / פאָספאָר דאָפּאַנט דיפיוזשאַן פּראָצעסן
· LPCVD און PECVD דין-פילם דעפּאַזישאַן
דריט-דור האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע (SiC און GaN)
קאַמפּעטיטיוו אַדוואַנטידזש
קערן ווערט פאָרשלאָג און טעכנישע אַדוואַנטאַגעס
1. סוב-מיקראָן מאַשינינג און פּרעציזיע סלאָטינג
אַוואַנסירטע CNC לאַזער מאַשינינג און דיאַמאָנט סלאָטינג געבן אונדז שטרענגע קאָנטראָל איבער סלאָט דזשיאַמעטרי, וואָס שטיצט אָטאַמייטיד וועיפער לאָודינג און העלפּס פאַרמייַדן וועיפער שעדיקן.
2. אולטרא-נידעריק הידראָקסיל הויך-וויסקאָסיטי געשמאָלצן קוואַרץ
אונדזער ספּעציעלע נידעריק-OH געשמאָלצן קוואַרץ גיט גוטע סטרוקטורעלע פעסטקייט און מינימיזירט פֿאָרעם ענדערונג בעת לאַנגע טערמישע ציקלען העכער 1100°C.
3. פייער-פאלירטע אויבערפלאך שוץ
פלאַם אַנילינג און כעמישע פּאָלירינג פאַרגרעסערן ייבערפלאַך געדיכטקייט, פֿאַרבעסערן רייניקונג געווער, און רעדוצירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
4. קאָמפּאַטיביליטי מיט OEM עקוויפּמענט
מיר פאָרשלאָגן מנהג-געמאַכטע קוואַרץ-שיפן פֿאַר TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE, און אַנדערע טערמישע פּראַסעסינג סיסטעמען.
אונדזער סערוויסעס
