שטרענג גראַפיטע פּעלץ

דער סעמיקסלאַב רידזשיד גראַפיט פֿילץ (RGF) איז אינזשענירט ווי אַ קריטישער הויך-טעמפּעראַטור איזאָלאַציע און טערמישער פאַרוואַלטונג קאָמפּאָנענט פֿאַר די פיזישע דאַמף טראַנספּאָרט (PVT) וווּקס פון SiC איין קריסטאַלן. דיזיינד פֿאַר נוצן אין דער ווייַטער-דור 4H- און 6H-SiC וועיפער פּראָדוקציע, דעם רידזשיד פֿילץ קאַמביינז גאָר נידעריק טערמישע קאַנדאַקטיוויטי, הויך סטרוקטורעל אָרנטלעכקייט, און אויסערגעוויינלעך כעמישע ריינקייט, מאכן עס אַ ווינקלשטיין מאַטעריאַל אין הויך-פאָרשטעלונג SiC סובלימאַציע אויוון. זיין אַפּלאַקיישאַן ינשורז פּינטלעך קאָנטראָל פון טערמישע גראַדיענטן, סטאַביל וווּקס באדינגונגען, און ענכאַנסט קריסטאַל קוואַליטעט אַריבער לאַנג-געדויער פּראָדוקציע סייקאַלז.

אין דעם SiC PVT פּראָצעס, איז אויפהאלטן א קאנסיסטענט און איינהייטלעך טערמיש פעלד קריטיש וויכטיג צו דערגרייכן חסרון-פרייע איינציקע קריסטאלן. דער גראַפיט רידזשיד פֿילץ דינט ווי די ערשטיקע אויוון איזאָלאַציע, אַרום דעם סובלימאַציע קרוציבל און טערמישע פעלד סטרוקטורן. זיין נידעריקע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי ראַדוסירט אַנוואָנטעד היץ אָנווער, אויפהאלטן דעם ציל טעמפּעראַטור גראַדיענט צווישן דעם SiC מקור און זוימען קריסטאַל. דורך קאָנטראָלירן ראַדיאַל און אַקסיאַל טעמפּעראַטור פּראָופיילן, מינאַמייזירט דער RGF די פאָרמירונג פון באַזאַל פלאַך דיסלאָוקיישאַנז, סטאַקינג חסרונות, און מיקראָפּייפּס, וואָס גלייך ווירקן די סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט און עלעקטראָנישע פאָרשטעלונג פון די רעזולטאַט SiC וועיפערס.

ווייטער פון אירע טערמישע איזאָלאַציע מעגלעכקייטן, גיט די שטרענגע סטרוקטור פון סעמיקסלאַב'ס גראַפיט פילץ מעכאַנישע פעסטקייט אין הויך-טעמפּעראַטור סביבות העכער 2000°C. ניט ווי פלעקסיבלע אָדער ווייכע פילץ, האַלט RGF איר פאָרעם אונטער פּראַלאָנגד טערמישע סייקלינג, פאַרהיטנדיק קאַלאַפּס אָדער דעפאָרמאַציע וואָס קען שטערן די טערמישע פעלד אָדער קאָמפּראָמיטירן אויוון לעבן. איר כעמישע ינערטנאַס ענשורז מינימאַל פּאַרטיקולאַטע מעלדונג און אַוווידאַד קאַנטאַמאַניישאַן פון די SiC בול, וואָס איז קריטיש פֿאַר פּראָדוצירן הויך-קעגנשטעליק סאַבסטראַטעס פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק און ברייט-באַנדגאַפּ מיטל אַפּלאַקיישאַנז.

פאַבריצירט מיט הויך-ריינקייט גראַפיטישע קאַרבאָן און אַוואַנסירטע דענסיפיקאַציע טעקניקס, סעמיקסלאַב גראַפיט רידזשיד פֿילץ ווייזט אַ מונדיר געדיכטקייט, ויסגעצייכנטע דימענשאַנאַל פעסטקייט, און לאַנג-טערמין געווער. זיין קאָמבינאַציע פון ​​טערמישע פאָרשטעלונג און מעכאַנישע רידזשידאַטי ינייבאַלז האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן צו דערגרייכן קאָנסיסטענט וווּקס ראַטעס, רעפּראָדוסיבלע טעמפּעראַטור פּראָופיילז, און רידוסט דאַונטיים אין PVT סיסטעמען. דורך אָפּטימיזירן אויוון טערמישע עפעקטיווקייט, RGF אויך קאַנטריביוץ צו ענערגיע סייווינגז בשעת ענכאַנסינג ווייפער מונדירקייט און ייעלד.

סעמיקסלאַב'ס שטרענגער גראַפיט פֿילץ אָפערט די פאָרשטעלונג, ריינקייט און סטרוקטורעלע פעסטקייט וואָס איז נויטיק צו שטיצן הויך-קוואַליטעט SiC איין קריסטאַל וווּקס, און גיט פאַבריקאַנטן אַ שטאַרקע מאַטעריאַל לייזונג פֿאַר דער ווייַטער דור וועיפער פּראָדוקציע, פֿאַרלענגערט אויוון לעבן און העכערע טערמישע פאַרוואַלטונג אין עקסטרעמע הויך-טעמפּעראַטור סביבות.