טאַנטאַלום קאַרבייד טאַק קאָוטאַד דעקל

אלס א פירנדיקער כינעזישער פאבריקאנט פון טאנטאלום קארבייד (TaC) באדעקטע דעקלעך, זענען סעמיקסלאב'ס TaC באדעקטע דעקלעך פלאטעס דיזיינט פאר פארגעשריטענע האלב-קאנדוקטאר עפיטאקסיאלע וואוקס סביבות. אין די סביבות, טעמפעראטור, כעמישע פעסטקייט, און קאנטאמינאציע קאנטראל זענען קריטישע פאקטארן וואס באשטימען די אויסבעט פון דיווייס. די באדעקטע דעקלעך זענען ספעציעל דיזיינט פאר סיליציום, סיסיציום, און גאַען עפיטאקסיאלע רעאקטארן, און דינען אלס א קריטישע פארזיגלונג און שילדינג שיכט אין דער רעאקציע קאמער, און באשיצן אינעווייניגסטע סערפאסעס פון קאראזיע און פארטיקולאט קאנטאמינאציע.

האַלב-קאָנדוקטאָר עפּיטאַקסיאַל וווּקס, אַזאַ ווי Si/SiC/GaN עפּיטאַקסי, ריקווייערז די פאָרמירונג פון דעפעקט-פֿרייַ דין פילמען אונטער גאָר פאָדערנדיק פּראָצעס באדינגונגען. הידראָגען, קלאָרין-באַזירט גאַזן, אַמאָוניאַ, און כיידראָקאַרבאָן פּריקורסאָרס קאָנטינואַסלי רעאַגירן אין קאַמערן ביי טעמפּעראַטורן אָפט יקסיד 1500°C. טראַדיציאָנעלע קאַמער ליינינגז ראַפּאַדלי דעגראַד אונטער דעם כעמישער און טערמישער דרוק, וואָס פירט צו פּאַרטיקל שעדינג, מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן, און פאַרקירצטע פּרעווענטאַטיוו וישאַלט ינטערוואַלז. אונדזער TaC קאָוטאַד דעקל, מיט זייער גאָר הויך שמעלץ פונט (בעערעך 3880°C), העכער פּלאַזמע און כעמישער קעגנשטעל, און געדיכטע, נידעריק-פּאָראָסיטי קאָוטינג סטרוקטור, יפעקטיוולי סאַפּרעסאַז ייבערפלאַך רעאַקציע רעזאַדוז. דאָס ינשורז אַ ריין קאַמער ינלענדיש, רידוסינג דעפעקט פאָרמירונג מעקאַניזאַמז אַזאַ ווי פּאַרטיקולאַטעס, ייבערפלאַך פּיטינג, און סטאַקינג שולד פּראַפּאַגיישאַן אויף די ווייפער.

אין עפּיטאַקסיאַל רעאַקטאָרן, טערמישע איינהייטלעכקייט און גאַז שטראָם פעסטקייט זענען יסודותדיק צו וועיפער-צו-וועיפער קאָנסיסטענסי. דורך אויפהאלטן סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט און ניט-רעאַקטיווע גרענעץ סערפאַסיז, ​​העלפֿן די TaC קאָוטאַד דעקל אויפהאלטן קאַמער סימעטריע און טערמישע גלייכגעוויכט, וואָס ענשורז איינהייטלעכן עפּיטאַקסיאַל שיכט וווּקס און דאָפּאַנט ינקאָרפּאָראַציע אַריבער קייפל וועיפערס. דורך מינאַמייז קאַנטאַמאַניישאַן און פאַרלענגערן סערוויס לעבן, קענען פאַבריקן דערגרייכן באַטייטיק אָפּעראַציאָנעל בענעפיץ: רידוסט דאַונטיים, נידעריקער גאַנץ קאָסטן פון אָונערשיפּ, אָפּטימיזעד ויסריכט אַפּטיים, און טייטער פּראָצעס קאָנטראָל.

סעמיקסלאַב'ס טאַק קאָוטאַד קאָווערס ווערן פאַבריצירט מיט אַוואַנסירטע CVD טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטינג דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע, מיקראָסטרוקטור אַדכיזשאַן קאָנטראָל, און פּינקטלעכקייט מעטראָלאָגיע צו ענשור קאָוטינג אָרנטלעכקייט, גרעב יונאַפאָרמאַטי, און טערמאַל שאָק קעגנשטעל. די פּראַטעקטיוו קאָווערס קענען זיין קאַסטאַם-דיזיינט פֿאַר אויוון, MOCVD, LPCVD, און ווערטיקאַל SiC/Si עפּיטאַקסיאַל פּלאַטפאָרמס. מיר קוקן ערלעך פאָרויס צו ווערן דיין לאַנג-טערמין שוטעף אין כינע.