קווד סיליציום קאַרבידע (סיק) קאָוטינג

CVD SiC קאָוטינג איז באַזירט אויף אַ סיליקאָן קאַרבייד שיכט וואָס ווערט אַוועקגעלייגט אויף גראַפיט, און עס ווערט ברייט גענוצט אין עפּיטאַקסי מכשירים, וואו סיי טעמפּעראַטור און סיי ריינקייט זענען וויכטיק. אין פאַקטישע פּראָדוקציע ליניעס וועט איר עס אָפט זען אין סיסטעמען פון AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, ווי אויך עטלעכע AMAT-פֿאַרבונדענע פּלאַטפאָרמעס. וואָס מאַכט עס נוצלעך איז נישט נאָר די טעמפּעראַטור קעגנשטעל, נאָר די אַלגעמיינע פעסטקייט בעת לאַנגע פּראָגראַמען. אונטער טיפּישע עפּיטאַקסי באַדינגונגען — וואַסערשטאָף, אַמאָניאַק, אָדער אפילו כלאָרירטע גאַזן — בלייבט די קאָוטינג רעלאַטיוו סטאַביל און באַשיצט די גראַפיט אונטער. דאָס העלפֿט האַלטן דעם טערמישן פֿעלד מער קאָנסיסטענט און רעדוצירט די שאַנס אַז פּאַרטיקלען זאָלן זיך ווייַזן בעתן וואוקס.

רובֿ מאָל ווערט די קאָוטינג אָנגעווענדט צו טיילן ווי סאַסעפּטאָרס, וועיפער טרעגערס, גראַפיט רינגען, אָדער האַלב-לבנה קאָמפּאָנענטן. די זענען אַלע גלייך ינוואַלווד אין וועיפער הייצונג אָדער פּאַזישאַנינג, אַזוי יעדע קליינע אינסטאַביליטעט קען ווירקן אויף די פּראָדוקציע. צוליב דעם ווערן קאָוטאַד טיילן אָפט באַהאַנדלט ווי קאָנסומאַבלעס וואָס דאַרפֿן נאָך זיין פאַרלעסלעך איבער קייפל ציקלען, ספּעציעל אין 4 ביז 12 אינטש פּראָדוקציע.