סיק קאָוטינג גראַפיטע פאַס סוסעפּטאָר

SiC קאָוטינג גראַפיט וועיפער עפּיטאַקסי באַרעל סוסעפּטאָר איז דער קערן קאָנסומאַבלע פֿאַר Si עפּיטאַקסיאַל וווּקס ויסריכט, און זיין פּלאַן קאַמביינז די הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי פון גראַפיט מיט די עקסטרעם קעראָוזשאַן קעגנשטעל פון SiC קאָוטינגז. די סאַבסטראַט איז אַ הויך ריינקייַט סיגליי גראַפיט (ריינקייַט ≥99.9995%) געשאפן דורך יסאָסטאַטיק פּרעסינג פּראָצעס. די 50μm דין β-SiC קאָוטינג איז געווען דעפּאַזאַטיד אויף די ייבערפלאַך דורך CVD פּראָצעס. עס יפעקטיוולי בלאַקס פאַרפּעסטיקונג מעלדונג פון די גראַפיט מאַטריץ אין הויך טעמפּעראַטור (1200-1800 ℃) און אַגרעסיוו גאַזן (אַזאַ ווי SiH₄, C₃H₈, און ה₂), אויסמיידנדיק וועיפער קאנטאמינאציע. בעראל דיזיין (פאר 4/6/8 אינטש עקוויפמענט) דורך אפטימיזירן דעם לופט שטראם וועג און טערמישע פעלד פארשפרייטונג, ווערט די גרעב איינהייטלעכקייט פון דער עפּיטאַקסיאַל שיכט קאנטראלירט אין ±1.5%, און די דעפעקט געדיכטקייט ווערט רעדוצירט צו < 0.05 סענטימעטער^-2דערצו, דער טערמישער אויסברייטונג קאעפיציענט פון SiC קאָוטינג און גראַפיט מאַטריץ איז העכסט צוגעפּאַסט (4.5×10^-6/K קעגן 4.8×10^-6/K), אויסמיידנדיק קראַקינג פון קאָוטינג אָדער פּאַרטיקל אָפּפאַל געפֿירט דורך הויך טעמפּעראַטור דרוק, און זיכער מאַכן לאַנג-טערמין סטאַביל אָפּעראַציע פון ​​ויסריכט. דער קאָמפּאָנענט איז געווען געווענדט צו די וועיפער עפּיטאַקסי פּראָדוקציע ליניע פון ​​די לידינג האַלב-קאָנדוקטאָר מאַניאַפאַקטשערערז אין כינע, די איין-אויוון עפּיטאַקסי קאָסטן איז רידוסט מיט 40%, און די מיטל ייעלד איז געוואקסן צו 98%.

פאַס טיפּ סאַסעפּטאָר קאַמפּערד מיט פּאַנקייק סאַססעפּטאָר

געניצט פֿאַר סיליקאָן עפּיטאַקסי/CVD פּראָצעס.

מערסטנס גענוצט אין טראדיציאנעלע LPE אדער CVD דעווייסעס (ווי פריע Aixtron סיסטעמען).

קעגנשטעל צו עקסטרעמע קעראָוזשאַן סביבה: β-SiC קאָוטינג איז קעגנשטעליק צו פּלאַזמע עראָוזיע און אַקסאַדיישאַן, און זיין לעבן איז 5 מאָל לענגער ווי אַז פון אַנקאָוטעד גראַפיט.

פּינקטלעכע טערמישע פעלד קאָנטראָל: פאַס סטרוקטור ראַדוסאַז טורבולענץ, טערמישע קאַנדאַקטיוויטי גלייַכן די סאַבסטראַט, און אַוווידז טערמישע דרוק דורכפאַל.

נול קאָנטאַמינאַציע ריזיקירן: גאָר הויך ריינקייט סאַבסטראַט און קאָוטינג, מעטאַל פֿאַרפּעסטיקונגען (Fe, Al) אינהאַלט < 0.1ppm.

גאנצע פּראָצעס סערוויס: שטיצן מאַטריץ פּראַסעסינג, קאָוטינג דעפּאַזישאַן, פאָרשטעלונג טעסט איין-האַלטן עקספּרעס.