שנעל טערמאַל אַנילינג סאַסעפּטאָר

אין פארגעשריטענע האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן, שפּילט ראַפּיד טערמאַל פּראַסעסינג (RTP) אַ קריטישע ראָלע אין דערגרייכן פּינקטלעכע טערמאַל קאָנטראָל פֿאַר דאָפּאַנט אַקטיוואַציע, סיליציד פאָרמאַציע, און דיעלעקטרישע אַנילינג. אין האַרצן פון יעדן RTA סיסטעם, דינט דער ראַפּיד טערמאַל אַנילינג סאַסעפּטאָר ווי די שליסל טערמאַל צובינד צווישן די היץ מקור און סיליקאָן וועיפערס, וואָס האָט אַ דירעקטע השפּעה אויף טעמפּעראַטור יוניפאָרמאַטי און פּראָצעס פעסטקייט. סעמיקסלאַב'ס RTA סאַסעפּטאָר איז ענדזשאַנירד פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור, קורץ-געדויער טערמאַל סייקלינג, וואָס ענשורז קאָנסיסטענט און ריפּיטאַבאַל היץ אַריבערפירן אונטער די שנעל הייצונג און קילן באדינגונגען וואָס זענען געוויינטלעך אין פארגעשריטענע ראַפּיד טערמאַל פּראַסעסינג (RTP) טעקניקס.

סעמיקסלאַב'ס SiC-באדעקטער גראַפיט סאַסעפּטאָר איז געמאַכט פֿון אולטראַ-הויך-ריינקייט גראַפיט, וואָס אָפֿערט ​​אויסערגעוויינטלעכע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און קאָנטראָלירטע טערמישע מאַסע פֿאַר אַ שנעלע טעמפּעראַטור רעאַקציע בשעת מינימיזירן טערמישע לעג. די גראַפיט סאַבסטראַט איז באדעקט מיט אַן אינערט סיליקאָן קאַרבייד (SiC) פּראַטעקטיוו שיכט וואָס פֿאַרבעסערט ייבערפֿלאַך פעסטקייט, סאַפּרעסיז פּאַרטיקל דזשענעריישאַן, און באַדייטנד פֿאַרבעסערט קעגנשטעל צו טערמישע קלאַפּ, אַקסאַדיישאַן, און כעמישער קעראָוזשאַן.

אין RTP פּראָצעסן, שפּילט דער RTA סאַסעפּטאָר אַ קריטישע ראָלע אין סטאַביליזירן דעם טערמישן פעלד איבער דער וואַפער ייבערפלאַך. דורך עפֿעקטיוו אַבזאָרבירן ראַדיאַנט ענערגיע און איינהייטלעך ווידער-אויסשטראַלן עס, מינימיזירט דער סאַסעפּטאָר טעמפּעראַטור גראַדיענטן ביידע אין און צווישן וואַפערס. די איינהייטלעכקייט איז וויכטיק פֿאַר דערגרייכן פּינקטלעכע קאָנטראָל איבער דין-פילם קעגנשטעל בעת יאָן ימפּלאַנטיישאַן אַקטיוואַציע, אויפֿהאַלטן פֿאַזע פעסטקייט בעת מעטאַל סיליסייד פֿאָרמאַציע, און פֿאַרהיטן אומגלייכע פילם דרוק בעת דיעלעקטריש אַנילינג.

סעמיקסלאַב'ס וועיפער הייצונג סאַסעפּטאָר איז אָפּטימיזירט פֿאַר קאָמפּאַטאַביליטי מיט מיינסטרים RTP און RTA עקוויפּמענט פּלאַטפאָרמעס, שטיצן ביידע 200 מם און 300 מם וועיפער סיזעס. זיין SiC-קאָוטעד ייבערפלאַך ווייזט נידעריק אַוטגאַסינג און ויסגעצייכנט עמיסיוויטי סטאַביליטעט בעשאַס ריפּיטיד טערמאַל סייקאַלז, העלפּינג מיינטיינינג פּינטלעך טעמפּעראַטור קאַליבריישאַן און רידוסינג עקוויפּמענט דאַונטיים רעכט צו קאַנטאַמאַניישאַן אָדער וישאַלט.

פֿון אַ מאַנופֿאַקטורינג פּערספּעקטיוו, איז סעמיקסלאַב'ס ראַפּיד טערמאַל אַנילינג סאַסעפּטאָר אַ קריטישער פּראָצעס קאָמפּאָנענט וואָס השפּעה האָט אויף עלעקטרישע איינהייטלעכקייט, דעפֿעקט ראַטעס, און קוילעלדיק עקוויפּמענט עפֿעקטיווקייט (OEE). דורך ינטאַגרירן הויך-ריינקייט מאַטעריאַלן, פּראָווען קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, און פּראָצעס-אָריענטירט פּלאַן, גיט סעמיקסלאַב אַן אַוואַנסירטע RTA סאַבסטראַט לייזונג וואָס גאַראַנטירט סטאַביל טערמאַל פאָרשטעלונג, מינאַמייזיז פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן ריסקס, און דערגרייכט לאַנג-טערמין פּראָצעס פעסטקייט. נאָך וויכטיקער, סעמיקסלאַב איז באַגאַנגען צו צושטעלן קאַטינג-עדזש טעכנאָלאָגיע און קאַסטאַמייזד RTA סאַסעפּטאָר לייזונגען פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר RTP פּראָצעסן. מיר קוקן ערלעך פאָרויס צו ווערן דיין לאַנג-טערמין שוטעף אין כינע.