Ⅰ. וואָס איז אַ גראַפייט סאַסעפּטאָר?

א גראַפייט סאַסעפּטאָר איז אַ שליסל קאָמפּאָנענט געניצט אין הויך-טעמפּעראַטור ינדאַסטרי פּראַסעסאַז, דיזיינד צו אַרייַנציען ילעקטראָומאַגנעטיק ענערגיע (למשל ראַדיאָ אָפטקייַט אָדער מייקראַווייוו ראַדיאַציע) און גער עס אין היץ. עס אקטן ווי אַ באַהיצונג עלעמענט אָדער היץ אָנפירער, קריייטינג אַ קאַנטראָולד, מונדיר טעמפּעראַטור סוויווע פֿאַר די פּראַסעסט מאַטעריאַל.

שליסל פֿעיִקייטן:

מאַטעריאַל: געמאכט פון הויך-ריינקייַט גראַפייט אָדער גראַפייט קאָוטאַד מיט ראַפראַקטערי מאַטעריאַלס (למשל, סיק, טאַק).

פונקציע: יפעקטיוולי קאַנווערץ ענערגיע אין היץ בשעת אַנטקעגנשטעלנ זיך טערמאַל קלאַפּ און כעמישער קעראָוזשאַן.

פּלאַן: טיפּיקלי שייפּט ווי פּלאַטעס, דיסקס אָדער מנהג דזשיאַמאַטריעס צו טרעפן ספּעציפיש ויסריכט רעקווירעמענץ.

Ⅱ. וואָס זענען גראַפייט סאַסעפּטערז געניצט פֿאַר?

סעמיקסלאַב גראַפייט סאַסעפּטערז זענען ינדיספּענסאַבאַל אין אַוואַנסירטע סעמיקאַנדאַקטער און מאַטעריאַל מאַנופאַקטורינג. דאָ זענען זייער הויפּט אַפּלאַקיישאַנז:

1. עפּיטאַקסיאַל גראָוט (EPI)

סיליציום עפּיטאַקסי:

גראַפיטע סאַספּעקטערז זענען בפֿרט געניצט אין כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) רעאַקטאָרס צו וואַקסן איין-קריסטאַללינע סיליציום לייַערס אויף סיליציום ווייפערז. די סאַסעפּטאָר ינשורז מונדיר באַהיצונג, וואָס אַלאַוז גענוי קאָנטראָל פון שיכטע גרעב און דאָפּינג.

גאַליום ניטרידע (גאַן) עפּיטאַקסי:

קריטיש פֿאַר די פּראָדוקציע פון ​​​​גאַן-באזירט דעוויסעס (למשל לעדס, מאַכט עלעקטראָניק). גראַפיטע סאַספּעקטערז וויטסטאַנד די הויך טעמפּעראַטורעס (>1,000 ° C) פארלאנגט פֿאַר גאַן וווּקס אין MOCVD (מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן) סיסטעמען.

2. MOCVD (מעטאַל אָרגאַניק קווד)

אין די מאַנופאַקטורינג פון GaN, GaAs אָדער InP מיטל, גראַפייט סאַסעפּטערז צושטעלן סטאַביל באַהיצונג פֿאַר דיקאַמפּאָוזישאַן פון מעטאַל אָרגאַניק פּריקערסערז און דאַפּאַזישאַן פון דין פילמס אויף סאַבסטרייץ.

3. גיך טערמאַל פּראַסעסינג (רטפּ)

גענוצט פֿאַר אַנילינג, אַקסאַדיישאַן אָדער דאָפּאַנט אַקטאַוויישאַן סטעפּס. די גיך באַהיצונג / קאָאָלינג קייפּאַבילאַטיז פון די סאַססעפּטאָר מינאַמייז די טערמאַל בודזשעט, וואָס איז קריטיש פֿאַר אַוואַנסירטע קמאָס און זכּרון מיטל מאַנופאַקטורינג.

4. אנדערע אַפּפּליקאַטיאָנס

סיק קריסטאַל גראָוט: גראַפייט סוססעפּטאָרס מיט הויך ריינקייַט זענען געניצט אין סובלימאַטיאָן אויוון פֿאַר סיק ינגגאַט וווּקס.

דימענט סינטעז: פּראָווידעס די הויך טעמפּעראַטור סוויווע פארלאנגט פֿאַר CVD דימענט פּראָדוקציע.

III. פאָרשטעלונג דיפפערענסעס צווישן גראַפיטע סוססעפּטאָר טייפּס

גראַפיטע סוססעפּטאָרס זענען מאַדאַפייד מיט קאָאַטינגס וואָס פֿאַרבעסערן זייער פאָרשטעלונג אין ספּעציפיש ינווייראַנמאַנץ. דאָ איז אַ פאַרגלייַך:

Application Scenarios

הויך-ריין גראַפייט:

פֿאַר נוצן אין ינערט גאַסאַז (למשל, סי עפּיטאַקסי, דימענט סינטעז).

נידעריק-פּרייַז אָפּציע פֿאַר פּראַסעסאַז אָן קעראָוסיוו גאַסיז.

סיק-קאָוטאַד גראַפייט:

פֿאַר MOCVD פֿאַר גאַאַס אָדער געפירט פּראָדוקציע (קעגנשטעליק צו פּלאַזמע עטשינג און הקל בייפּראָדוקטן).

RTP אין זויערשטאָף-מיט ינווייראַנמאַנץ.

טאַק-קאָוטאַד גראַפייט:

GaN MOCVD: קעגנשטעליק צו Cl₂-באזירט פּריקערסערז און הויך טעמפּעראַטורעס.

SiC עפּיטאַקסי: קעגנשטעליק צו סי פארע קעראָוזשאַן בעשאַס סובלימאַטיאָן וווּקס.

Ⅳ. פארוואס איז ייבערפלאַך קאָוטינג וויכטיק?

SiC קאָוטינג: מוסיף אַ פּראַטעקטיוו שלאַבאַן קעגן אַקסאַדיישאַן און כעמישער באַפאַלן, יקסטענדינג די לעבן פון די סאַסעפּטאָר אין ריאַקטיוו גאַז ינווייראַנמאַנץ.

טאַק קאָוטינג: גיט ויסגעצייכנט פעסטקייַט אין האַלאָגען-רייַך ינווייראַנמאַנץ (פּראָסט צו GaN און SiC פּראַסעסאַז), פּרעווענטינג גראַפייט קעראָוזשאַן און קאַנטאַמאַניישאַן.