קוואַרץ דיפיוזשאַן רער

סעמיקסלאַב'ס קוואַרץ דיפיוזשאַן רערן זענען הויך-ריינקייט, טערמיש סטאַביל קוואַרץ קאָמפּאָנענטן דיזיינד פֿאַר דיפיוזשאַן, אַקסאַדיישאַן און אַנילינג פּראַסעסאַז אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג. אינזשענירט צו אַרבעטן אונטער עקסטרעמע טערמישע באדינגונגען, די רערן זענען יקערדיק קאָמפּאָנענטן אין האָריזאָנטאַלע און ווערטיקאַלע אויוון סיסטעמען געניצט אין די זונ - סעלז.

Ⅰ.מאַטעריאַל קאָמפּאָזיציע

אונדזערע דיפוזיע רערן זענען געמאכט פון 99.995% ריין צוזאמענגעשמאָלצן סיליקאַ (SiO₂), באַקומען פון שפּיץ-קלאַס רוי מאַטעריאַל סאַפּלייערז און פּראַסעסט מיט פּראַפּרייאַטערי טערמאַל פאָרמינג און אַנילינג טעקניקס. דאָס גאַראַנטירט אויסערגעוויינלעך קעגנשטעל צו טערמאַל קלאַפּ, כעמישע פעסטקייט, און מינימאַל יאָניש קאַנטאַמאַניישאַן - קריטישע פאַקטאָרן פֿאַר מיינטיינינג וועיפער ייעלד און ויסריכט אָרנטלעכקייט.

● מאַטעריאַל: הויך-ריינקייט סינטעטיש געשמאָלצן סיליקאַ

● אומריינקייט לעוועל: ≤10 ppm (מעטאַלישע אומריינקייטן)

● קריסטאַל סטרוקטור: אַמאָרפֿיש

Ⅱ. קריטישע אַפּליקאַציעס אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג

סעמיקסלאַב'ס קוואַרץ דיפיוזשאַן רערן זענען נייטיק אין אַ פאַרשיידנקייט פון קריטישע האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע סטעפּס, און שפּילן אַ וויכטיקע ראָלע אין דערגרייכן די געוואונטשע מאַטעריאַל אייגנשאַפטן און מיטל פאָרשטעלונג:

דיפוזיע פּראָצעסן

אין דיפוזיע אויוון, דינען אונדזערע רערן ווי די רעאַקציע קאַמער וואו דאָפּאַנט אומריינקייטן (למשל, באָר, פאָספאָר, אַרסעניק) ווערן אריינגעפירט אין האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערס ביי הויכע טעמפּעראַטורן. די רערן צושטעלן אַ הערמעטיש פארמאכטע, קאַנטאַמאַניישאַן-פֿרייע סביבה פֿאַר פּינקטלעכע קאָנטראָל איבער דאָפּינג פּראָופיילז. זייער טערמישע פעסטקייט גאַראַנטירט מונדיר טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג, וואָס פירט צו קאָנסיסטענט דאָפּאַנט דורכדרינגונג און אַקטיוואַציע, וואָס איז קריטיש פֿאַר דעפינירן די עלעקטרישע קעראַקטעריסטיקס פון דיווייסאַז.

אָקסידאַציע פּראָצעסן

בעת טערמישער אקסידאציע, ווערן סיליקאן וועיפערס אויסגעשטעלט צו זויערשטאף אדער וואסער פארע ביי הויכע טעמפעראטורן אינעם קוואַרץ רער כדי צו וואַקסן אַ דין, איזאָלירנדיק שיכט פון סיליקאן דייאַקסייד (SiO₂). די SiO₂ שיכט אַקט ווי אַ טויער דיעלעקטריק, איזאָלאַציע שיכט, אדער פּאַסיוואַציע שיכט. די הויכע ריינקייט און דימענסיאָנעלע פעסטקייט פון אונדזערע רערן זענען דאָ פון העכסטער וויכטיקייט, ווייל זיי האָבן אַ דירעקטן השפּעה אויף די איינהייטלעכקייט, גרעב, און עלעקטרישע קוואַליטעט פון דער אקסייד שיכט, וואָס זענען יסודותדיק פֿאַר די פאָרשטעלונג און פאַרלעסלעכקייט פון די דעוויסעס.

אַנילינג פּראָצעסן

אנלינג ווערט גענוצט צו פאררעכטן קריסטאל גיטער שאדן געפֿארשאַכט דורך יאָן אימפּלאַנטאַציע און צו אַקטיווירן אימפּלאַנטירטע דאָפּאַנץ. אונדזערע קוואַרץ רערן צושטעלן די ריינע און קאָנטראָלירטע הויך-טעמפּעראַטור סביבה וואָס איז נייטיק פֿאַר די אנלינג טריט. די אויסגעצייכנטע טערמישע אייגנשאַפֿטן פֿון די קוואַרץ ענשורן מונדיר היץ באַהאַנדלונג איבער די ווייפער, וואָס פֿירט צו עפֿעקטיווע דעפֿעקט רעדוקציע און אָפּטימאַל דאָפּאַנט אַקטיוואַציע, וואָס באַדייטנד פֿאַרבעסערט די עלעקטרישע קעראַקטעריסטיקס פֿון די מיטל און לאַנג-טערמין פעסטקייט.